Las máscaras son dispositivos a través de los cuales se hace pasar luz ultravioleta para definir la configuración circuital de cada estrato del microcircuito. Por tratarse de una configuración intrincada, que debe quedar definida y situada sobre el chip con gran precisión, la distribución de espacios opacos y transparentes en la máscara ha de establecerse con máximo rigor en la fase de diseño del microcircuito.

La imagen de la máscara se transfiere a la oblea mediante una máquina posicionadora controlada por ordenador, que la desplaza paso a paso. Dispone de unos sistemas ópticos muy perfectos, que han de reducir el patrón trazado en la máscara a las microscópicas dimensiones de los circuitos del chip, lo que exige resoluciones de tan sólo 0,25 micras. Se instala la oblea en su sitio sobre una mesa desplazable, bajo el sistema óptico. La luz ultravioleta emitida por una lámpara de arco o por un láser atraviesa los espacios transparentes del motivo trazado en la máscara e ilumina la película de polímero fotosensible que recubre a uno de los chips. Seguidamente, la mesa de posicionado desplaza la oblea la distancia exacta para situar otro chip bajo la luz. En cada chip, las regiones de la capa fotosensible que han recibido iluminación se vuelven solubles, lo que permite eliminarlas mediante disolventes orgánicos, quedando revelada la configuración que les ha sido proyectada,como en una película fotográfica normal. Una vez configurada la resina fotosensible de reserva, la oblea queda lista para su grabación con mordientes.